Die Fizeau- und LUPI-Interferometer von ÄPRE mit patentierten Lichtquellen bieten ein umfassendes Interferometersystem. Kein anderes Interferometer bietet auch nur annähernd so viele Anwendungsmöglichkeiten, von der Messung ultradünner 0,075 mm Substrate ohne Oberflächenvorbereitung bis hin zu Radius-, Form-, Mittenfrequenz- und Fourieranalysen. Die außergewöhnliche Leistung basiert auf einem direkt bildgebenden, beugungsbegrenzten optischen Design mit Auflösungen von bis zu 24 lines/mm, <0,06% Bildverzerrung und <λ/20 Rückverfolgungsfehler bei Steigungen von bis zu 512 fringes/Apertur. Wählen Sie aus drei austauschbaren Quellen um Ihr System zu konfigurieren. Kundenspezifische und nicht standardisierte Wellenlängenoptionen sind möglich.