Vakuumanlagen für High Purity- und UHV-Anwendungen

TREAMS steht für „Treatment and Measurement Systems“ und beschreibt unser Kerngeschäft: die Entwicklung und Produktion spezieller Vakuumsysteme für High-Purity-Anwendungen auch im Bereich der Herstellung von optischen Bauteilen und -gruppen und in der Lasertechnik. Das ARGAT-System misst vollautomatisch und zerstörungsfrei die Ausgasraten einzelner Bauteile oder Baugruppen. Mit der Ausheizofen-Serie VOBOS lassen sich Sauberkeitswerte und Ausgasraten von Bauteilen deutlich optimieren. Das Sauberkeitsmessgerät VIDAM erkennt filmische Verunreinigungen auf Oberflächen. Dank des spektralen Messverfahrens lassen sich die Verunreinigungsquellen präzise identifizieren.