Ionenstrahl- und Plasmaprozessanlagen für das Beschichten und Ätzen von Optiken.

Das 2013 gegründete Unternehmen scia Systems ist Spezialist für Prozessequipment zur präzisen Oberflächenbearbeitung basierend auf komplexen Ionenstrahl- und Plasmatechnologien. Das Chemnitzer Unternehmen entwickelt und fertigt Anlagen für Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse mit Nanometerauflösung. Die Systeme kommen weltweit in verschiedenen Hightech-Branchen zum Einsatz, darunter in der Mikroelektronik-, MEMS- und Präzisionsoptikindustrie. 
Durch ihren modularen Aufbau eignen sich die Systeme nicht nur für die industrielle Serienfertigung, sondern auch in Entwicklungsumgebungen zum Beispiel in einer Clusterkonfiguration.