scia Systems ist ein Anbieter von komplexen Ionenstrahl- und Plasmaprozessanlagen zur präzisen Oberflächenbearbeitung. Die Systeme eignen sich für verschiedene Ätz- und  Beschichtungsprozesse, insbesondere für die MEMS-, Mikroelektronik- und Präzisionsoptikindustrie. Zudem bietet scia Systems Lösungen für die Formfehlerkorrektur auf großen optischen Substraten und für die hochwertige Reinigung von Substraten.

Die Systeme können sowohl für die Massenproduktion als auch für den Einsatz in Forschung und Entwicklung konfiguriert werden. Durch ihren flexiblen und modularen Aufbau können mehrere Vakuumprozesskammern als Cluster- oder Durchlaufsysteme kombiniert werden - je nach Kundenanforderungen.