25. Weltleitmesse für Komponenten, Systeme und Anwendungen der Photonik
26.–29. April 2022 | Messe München
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Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH

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Maskenlose Laserlithografiesysteme für die Mikro- und Nanofabrikation

Unternehmensprofil

Heidelberg Instruments ist weltweit führend in der Entwicklung und Produktion von hochpräzisen maskenlosen Laserlithografiesystemen und Nanofabrikationswerkzeugen. Mit über 35 Jahren Erfahrung und mehr als 1.200 weltweit installierten Systemen in der Industrie und akademischen Einrichtungen bieten wir Lithografielösungen an, die speziell auf alle Mikro- und Nanofabrikationsanforderungen unserer Kunden für die Herstellung von binären Layouts und komplexen 2,5 und 3D-Strukturen in der Mikrooptik, Photonik, Mikrofluidik und Nanobiotechnologie, Elektronik und Kommunikationstechnologie, und in den Materialwissenschaften zugeschnitten sind. Branchenführer der Bereiche MEMS, BioMEMS, ASICS, TFT, Displays, Mikrooptik, Sensoren, Halbleiter und Automotive zählen zu unseren Kunden. 

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Mittelgewannweg 27, 69123 Heidelberg, Deutschland
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